2021年10月11日—13日，第十二届中日韩微纳机电系统联合会议（The 12th Japan-China-Korea Joint Conference on Micro/Nano Electromechanical System）在西安顺利召开。本次会议由西安交通大学主办，陕西省机械工程学会、中国机械工程学会微纳制造技术分会、陕西省创新驱动共同体等单位联合承办。陕西省机械工程学会理事长蒋庄德院士担任本届大会名誉主席、常务理事兼副秘书长赵立波教授担任大会主席。

大会旨在为中、日、韩三个国家开展微纳机电系统研究的科技工作者打造一个国际交流与合作的平台，推进三方在微纳米制造、微纳米电子学、微纳米传感器与执行器等领域的深入展开。本届会议采取线上、线下同时进行的方式，总参会人数约150人。中国科学院大学夏善红教授、日本明星大学Tadatomo Suga教授和韩国科学技术院Young-Ho Cho教授做了大会的特邀报告；，中国科学院微电子研究所焦斌斌研究员、庆应义塾大学Norihisa Miki教授、厦门大学吴德志教授、西安交通大学李支康副教授、韩国工业技术研究院的Chung-Soo Kim博士等十一位专家、学者做了大会邀请报告；三十余位青年学者和研究生做了大会口头报告。上述报告涵盖了微纳米制造、微纳米系统、微系统和物联网技术、材料和器件特性、集成与封装技术、制造过程的建模与仿真等内容。

作为本届大会的承办单位之一，陕西省机械工程学会在大会筹备之初就参与其中，及时发布大会相关信息，并鼓励相关专家、学者和研究生积极参会。来自中、日、韩三国的专家与学者围绕MEMS压力传感器、微压传感器、呼吸机压传感器、多晶硅压力传感器、低成本TO-8封装压力传感器和应用于航空航天领域的霍尔传感器等对MEMS技术与系统的前沿问题进行了深入交流和探讨，有助于增强我国特别是我省微纳传感技术及系统、微电子及集成电路、智能制造、大数据、物联网等行业竞争力。与此同时，大会为青年学者与高校研究生提供了一个前沿MEMS传感技术的交流平台，极大地帮助科研人员把握前沿研究动态，了解最新研究成果，并为MEMS传感技术的快速发展做好高端人才储备。